세미콘 에어히터(SEMICON AIR HEATER) 

적용
분야

반도체장비의 질소가스 및 반도체 제조시의 크린가스 가열,
전자기기의 가열
가스 및 소량의 공기가열, 공기, 불활성 가스등의 고온 가열 

최대 가열온도

500°C 미만

 

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서식 DOWN 받기
   
(electric heater.ZIP)

 한일전열엔지니어링/CE 마크 제품인증

 당사의 세미콘에어히터는 HEATER와 피가열체인 AIR, GAS, STEAM과 접촉이 되는 직접가열 방식이며 압력은 3Kg/Cm² 이하에서 사용하며 높은 압력이 걸리거나 높은 온도로 열풍을 발생시키더라도 HEATER의 형상변화를 방지할 수 있는 특수주문형도 제작합니다.

HEATER의 설계구조에 따라서 최대 500°C 까지 가열이 가능하며 히터가 단선되었을 경우 HEATER ELEMENT만 교체할 수 있는 구조로 제작되며 가열과 냉각시간이 빠르며 효율이 높고 열 손실이 적다.

가열된 피 가열체의 온도 및 HEATER의
온도를 측정할 수 있도록 OVER TEMPERATURE 및 PROCESS용 서머커플이 설치된다. 

 


세미콘에어히터는 OUTLET을 통하여 가열된 피가열체가 PROCESS 지점까지 도달하는 PIPING LINE의 거리가 먼 경우 리본히터을
리본히터 [RIBBON HEATER] 사용하여 배관 라인에서 손실되는 용량을 보완할 수도 있다.

반도체설비 및 장비에 주로 사용되는 히터이며 주 용도로는 액체가열,공기가열,질소가스 및 혼합 가스가열,STEAM 가열등 각각의 기체를 가열하는 소풍량용 에어히터입니다.
가스를 깨끗하게 가열하며 고효율 가열설계로 가스의 온도상승 속도가 빠르고 효율적으로 가스를 가열 할 수가 있습니다.

세미콘에어히터는 피가열체인 가스나 공기를 히터의 INLET부위에 인입 시킨 후 전원을 인가하여야 하며,히터의 사용이 끝나면 인가된 전원을 끄고 INLET 노즐부에 인입되는 가스나 공기를 차단 하여야 한다.

세미콘에어히터를 외국에서는 STARFLOW AIR HEATER 라고도 부르며, 당사에서는 주문자가 필요로 하는 모양으로 성형하여 제작하고 있으며 전압(Volt), 전류(Watt),히터의 사양 및 형태를 알려주시면 원하시는 형태에 따라 제작하여 드립니다.


(1) 표준형 SEMICON AIR HEATER의 외형도(저압에서 사용)

주문방법
 

STAR

-

□□

-

□□

-

□□□

-

-

-

-

 

 

-

 

-

 

-

 

-

 

-

 

-

 

-

 

 

 1

 

2

 

3

 

4

 

5

 

6

 

7

 

1.  INLET[A]

ET - 외경 1/4"(6.35mm) 파이프

GT - 외경 3/8"(9.52mm) 파이프

JT - 외경 1/2"(12.70mm) 파이프

2. OUTLET[B] 

ET - 외경 1/4"(6.35mm) 파이프

GT - 외경 3/8"(9.52mm) 파이프

JT - 외경 1/2"(12.70mm) 파이프

3. 히터용량

003 - 100V/ 300W

205 - 208V/ 500 W

005 - 100V/ 500 W

210 - 220V/1000 W

103 - 110V/ 375 W

215 - 220V/1500 W

105 - 120V/ 500 W

220 - 220V/2000 W

4. 에어히터 자체에 과열보호 센서 내장

X -  필요없음

J -  TYPE"J" 센서

K -  TYPE"K" 센서

5. 에어히터 CASE 전해연마 처리 여부

X -  필요없음

E -  전해연마(ELECTROCPOLISED)

6. 에어히터 출구부에 센서 내장 여부[C]

X -  필요없음

J -  TYPE "J"  센서

K - TYPE"K" 센서

7. GASKET

A - ASBESTOS [사용온도 200° C이상일 경우 ]

T - TEFLON®

* 표준형 SEMICON AIR HEATER의 종류
 

규 격 번 호

전 원

노즐 사이즈

서머커플

INLET

OUTLET

OVER TEMP

PROCESS

STAR-ET-ET-105-J-E-J-T

110/
500W

1/4"

1/4"

J

J

STAR-GT-GT-105-J-E-J-T

3/8"

3/8"

J

J

STAR-ET-GT-105-J-E-J-T

1/4"

3/8"

J

J

STAR-ET-ET-205-J-E-J-T

220V/
500W

1/4"

1/4"

J

J

STAR-GT-GT-205-J-E-J-T

3/8"

3/8"

J

J

STAR-JT-JT-205-J-E-J-T

1/2"

1/2"

J

J

STAR-ET-GT-210-K-E-K-T

1/4"

3/8"

K

K

STAR-GT-JT-210-K-E-K-T

3/8"

1/2"

K

K

STAR-ET-ET-210-K-E-K-T

220V/
1000W

1/4"

1/4"

K

K

STAR-GT-GT-210-K-E-K-T

3/8"

3/8"

K

K

STAR-JT-JT-210-K-E-K-T

1/2"

1/2"

K

K

STAR-ET-GT-210-K-E-K-T

1/4"

3/8"

K

K

STAR-GT-JT-210-K-E-K-T

3/8"

1/2"

K

K

STAR-ET-ET-215-K-E-K-T

220V/
1500W

1/4"

1/4"

K

K

STAR-GT-GT-215-K-E-K-T

3/8"

3/8"

K

K

STAR-JT-JT-215-K-E-K-T

1/2"

1/2"

K

K

STAR-ET-GT-210-K-E-K-T

1/4"

3/8"

K

K

STAR-GT-JT-210-K-E-K-T

3/8"

1/2"

K

K

(2)  특수형 SEMICON AIR HEATER(고압에서 사용)
    
  
     효율이 높은 고압 및 고온에서 사용되는 특수 구조의 히터로서 가열 효율이 좋고 깨끗하게 가열 대상물을 빨리 승온하고 정확한 온도
      조절이 가능하다. 사용압력은 5Bar 이내, 출구온도는 최고 사용 온도인 500°C까지 설정이 가능하다.
      (최고 사용 온도는 사용 조건에 의한 다릅니다).
      사용 용도는 장비의 핫 가열, 공기, 질소 가스나 아르곤 가스 등의 불활성 가스의 고온 가열, 웨트 클리닝 후의 수분 제거 등.
 

 

* 특수형 SEMICON AIR HEATER의 종류
 

 

 

규 격 번 호

전 원

노즐 사이즈

치수

서머커플

INLET

OUTLET

L

D

B

OVER TEMP

PROCESS

STAR-CHL-0600-1

220V/600W

1/4"

1/4"

179

50.8

30

K

K

STAR-CHL-0600-2

3/8"

3/8"

STAR-CHL-0900-1

220V/900W

1/4"

1/4"

179

50.8

30

STAR-CHL-0900-2

3/8"

3/8"

STAR-CHL-1800-1

220V/1800

3/8"

3/8"

305

76.3

30

STAR-CHL-1800-2

1/2"

1/2"

STAR-CHL-2700-1

220V/2700

3/8"

3/8"

305

76.3

30

STAR-CHL-2700-2

1/2"

1/2"

STAR-CHL-3600-1

220V/3600

3/8"

3/8"

305

76.3

30

STAR-CHL-3600-2

1/2"

1/2"

STAR-CHL-4500-1

220V/4500

1/2"

1/2"

305

76.3

30

 
* 특수형 SEMICON AIR HEATER의 유량에 출구온도 특성 곡선

※ 피 가열체의 유량에 따른 압력 손실은 설계 및 사용조건에 따라 따르므로 전기용량은 조건에따라 다름.
※ 최고 사용 온도는 전기용랭 및 에어히터의 사이즈 및 각가의 사용 조건에 따라 전기용량은 다름.
※ 상기 그래프는  열효율은 90%을 적용할 때의 계산치이므로 실제 조건에서는 다를 수 있음.

 

 (3) 세미콘에어히터[SEMICON AIR HEATER] 사용방법 및 주의사항

     당사의 세미콘에어히터를 장기간에 걸쳐 안전하게 사용하기 위해서는 아래와 같은 사용 방법으로 주의하여 사용해 주십시오.

   1. 열풍 발생 순서:

세미콘 에어히터의 과열 및 국부가열 방지을 위해서 아래와 같은 순서를 운전하여야 한다

   1. 에어히터 INLET에 피가열체가 인입되기전에 전원을 "ON" 시키지 말아야한다.
   2. 에어히터 "ON"의 인터록 회로를 구성하여 사용하여야 한다.
   3. 본 에어히터에는 어스선을 반드시 접속해 주세요.
   4. 에어히터를 "OFF" 시키더라도 INLET에서는 피가열체가 약10분이상 운전하여 충분히 냉각하여야 한다.


피가열체 유입→ 전원[ON]→ 에어히터 가동→ 전원[OFF]→ 피가열체[OFF]

   2. 사용 피가열유체:

 1. 압축기 또는 콤프레샤로부터 에어를 공급하며 필터를 붙여 불순물,오일,먼지,수분등을 충분히 제거하여 유입시켜야한다.
 2. 압력은 히터의 종류에 따라서 1~5 kg/cm2의 범위의 유량으로 조절하며 압력조정기, 유량계를 부착하여 공급하여야 한다.

   3. IN/OUTLET 노즐 호스:

  접속하는 호스는 일반의 고온고압용으로 충분합니다만, 각 기기의 접속 부분에 호스 밴드나 스웨이지락등으로 연결부가 빠지지 않게 해 주세요.


   4. 유량 조절:

       유량은 밸브 또는 유량 조절 기기(플로우 미터등 )로 유량을 조절하여야 한다.

   5. 측정온도 :
 

 온도의 측정은 OUTLET부에 위치된 PROCESS 서머커플 및 VESSEL내부의 OVER-TEMPERATURE 서머커플등으로 측정.

 

발열체의 가열된 색상별 온도 기준

엷은 빨간색상일 때의 온도

암적 색상일 때의 온도

연 분홍 색상일 때의 온도

명연분홍 색상일 때의 온도

   6. 히터 외부 보온처리

  사용온도에 따라서는 외부 케이스가 고온이 되는 일이 있어 화상등의 위험 방지와 열 손실을 억제하기 위해 단열처리를 추천합니다. 보온처리는 특별주문품이 됩니다.

     
   
7. 주의사항:

  수소, 일산화탄소, 도시가스, 프로판 가스등의 폭발의 위험성이 있는 혼합 가스, 환원가스, 할로겐 가스는 사용금지 방폭지역에서 세미콘에어히터를 사용시에는 주문시  "방폭지역 및 방폭등급"등을 당 사에 통보하여야 합니다.

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