가스라인히터(GASLINE HEATER)
 

적용
분야

반도체장비의 질소가스라인 및 전자기기의 가열
가스 및 소량의 공기가열

최대 가열온도

180°C

 

당사의 가스라인히터는 펌프 라인, 배관이나 밸브등을 가열하는 시스템으로서 히터는 균열성이 뛰어나며 플렉시블 타입이기 때문에 이형 배관에 자유로이 설치 할 수가 있습니다.
그 때문에 사용 가스에 따라 배관내에서의 액화·고체화등의 파티클 발생 방지에 뛰어난 효과를 발휘합니다.
가스라인히터는 각종 배관의 외부 벽면에 부착하며 실리콘으로 보온되어 있으며 가스배관의 형상에 맞추어 제작하거나 주문자 요청에 의해 각종의 형상으로 제작이 가능합니다.

특징 

1. 히터의 착탈이 용이

    히터의 외부에는 스냅 패스너와 커넥터를 사용하고 있기 때문에 가스 배관에 부착 및 탈
    착이 용이합니다.

2. 균일한 가열이 가능

    히터는 유연성이 좋고 얇은 실리콘러버 히터로 되어 있기 때문에, 배관 표면을 균일하게     가열할 수 있습니다.

3. 클린 룸에 사용

    히터 및 피복 단열재는 실리콘 고무를 사용하고 있기 때문에 분진의 발생이 적고 반도체     프로세스의 클린 룸에 적용할 수 있습니다.

4. 배관내의 파티클을 억제

    배관을 가열하는 것에 의해 관벽에 부착하는 고형물등을 큰폭으로 억제해 파티클의 발
    생을 미연에 저감 할 수가 있습니다.


■사양
 

명     칭

내     용

 히터부 절연재

 실리콘 고무

 커버 단열재

 실리콘 스펀지(t=6.35㎜)

 이음쇠 도구

 직경 12.3㎜나일론 커버첨부 금속 스냅 방식
 (내열 200℃ MAX)

 센서 위치

 가로방향 76.5㎜

 히터의 두께

 1.6㎜

 최고 사용 온도

 200℃ MAX

 히터 전력 밀도

 ~0.3W/㎝2

 전원 코드

 실리콘 sleeve첨부 2심 테플론 전선 100㎜L(10A MAX)
 선종:AWG#18 (UL인정품 1180/CSA 의거)

 커넥터

 앰프제 유니버설 MATE-N-락 코넥터

 액세서리

 센서 포켓용 J타입 또는 K타입 열전대 305㎜L(AWG#24)

가스라인 HEATER의 규격
 

배관규격

규 격 번 호

전 류[110V]

길이(L)

사양

비고

T/C없음

T/C내장

  1/4"

  008060C1

 008060C1A1

 12W

6"

 직관가열용

 

 

 

 

 

 

  008090C1

 008090C1A1

 18W

9"

  008120C1

 008120C1A1

 24W

12"

  008180C1

 008180C1A1

 36W

18"

  008240C1

 008240C1A1

 48W

24"

  008360C1

 008360C1A1

 72W

36"

  008180C0

 

 

1/4"X18"

 직관용단열재

 

  008020C0

 

 

1/4" L

 L자형 단열재

 

  008030C0

 

 

1/4" T

 T자형 단열재

 

1/2"

  016060C1

 016060C1A1

 24W

6"

직관가열용

 

 

 

 

 

 

  016090C1

 016090C1A1

 36W

9"

  016120C1

 016120C1A1

 48W

12"

  016180C1

 016180C1A1

 72W

18"

  016240C1

 016240C1A1

 96W

24"

  016360C1

 016360C1A1

144W

36"

  016180C0

 

 

1/4"X18"

직관용단열재

 

  016020C0

 

 

1/4" L

L자형 단열재

 

  016030C0

 

 

1/4" T

T자형 단열재

 

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