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핫 플레이트[HOTPLATE]

적용 분야	반도체 웨이퍼 제조 가열용, 액정 디스플레이 기판 가열용CVD, 플라스마 에칭의 열처리용,시험 장치의 가열, 플라스틱, 고무등의 예열·성형 핫 프레스,각종 화학 기기,	최대 가열온도
		100 - 600°C

핫 플레이트는 다양한 용도로 사용되며 저온으로부터 고온까지, 대기 및 진공 용도로 사용하며, 균일한 온도분포가 되도록 제작하고 있습니다.

열안정성을 고려해 제작하고 있기 때문에 온도 분포 정밀도는 변화하지 않습니다.

　
■공통 사양

핫 플레이트의 표준규격

일반형 핫 플레이트	원형 핫 플레이트	정밀 핫 플레이트