한일전열엔지니어링 [TEL:02-2635-7214 / FAX:02-2636-2773]

원형 핫 플레이트(진공 및 대기용)[HOTPLATE]

핫 플레이트의 표준규격

일반형 핫 플레이트	정밀 핫 플레이트	원형 핫 플레이트

한일전열엔지니어링/생산품목/핫플레이트[HORPLATE]

원형 핫 플레이트는 오랜 경험에 걸쳐 열해석 기술을 이
용해 설계된 온도 균일성이 뛰어난 핫플레이트입니다.

  대기 및 진공 환경하에서의 사용을 고려하여 플레이트 표
  면은 아노다이징처리를 하기 때문에 내식성 및 내마모성이
  뛰어납니다.
  주로 CVD 열처리, 웨퍼 가열, 전자 부품 열처리등에 사용
  한다.

1. 제작사양 및 치수

■ 진공용　 한일전열엔지니어링/생산품목/핫플레이트[HORPLATE]

※ 1 x 10^-4Pa진공 chamber내, 무부하 상태에서의 값으로서 사용조건에 의해 크 게 다른 경우가 있습니다.

■ 대기용　 한일전열엔지니어링/생산품목/핫플레이트[HORPLATE]